8-inch桌上型旋轉塗佈機(Tabletop 8-inch Spin Coater)
規格簡介:
●外觀尺寸:800mm(W)x600mm(D)x 480mm(H)。
●基材:6” or 8” Substrates。
●手動放片/手動供料
●主軸轉速:10~6,000 rpm (±1rpm)。
●驅動:AC Servo Motor
●控制系統:MITSUBISHI PLC。
●記憶模組:10組。